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无锡海太半导体研磨废水硅粉回收项目
发布日期:2024/10/11

项目背景:该项目于2012年运行,设计处理量700吨/天。本项目为半导体 生产过程中产生的硅粉研磨废水(单晶硅),通过管式膜的浓缩过滤,硅 粉不仅得以回收利用,实现经济价值,后续产水还实现了再利用。

工艺流程:单晶硅研磨废水→管式超滤→产水→RO→回用;

               ↓

                                        浓水压滤提取硅粉

运行情况及参数:该系统共使用两组超滤膜,每组6支串联连接,自2012年 运行至今已有四年,膜通量稳定在70LMH以上,产水水质合格。